吉时利源表在电子薄膜材料的应用

概述:

某一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度的材料成为薄膜材料,理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米,但由于厚度小于100nm的薄膜已经被称为二维材料,因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金属或有机物层。

薄膜材料可以分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料,非电子薄膜材料需要对其电学特性进行分析,不是本方案针对的对象。电子薄膜又可以分为导电薄膜,介质薄膜,半导体薄膜,电阻薄膜,磁性薄膜,压电薄膜,光电薄膜,热电薄膜,超导薄膜等,表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。

电子薄膜材料表面电阻测试:

表面电阻率测试常用方法是四探针法和范德堡法,但对电子薄膜材料,范德堡法很少应用。多数情况下,电子薄膜材料电阻率测试对测试仪器的要求没有二维材料/石墨烯材料高,用吉时利源表加探针台即可手动或编写软件自动完成测试。

电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战:

●电子薄膜种类多,电阻率特性不同

 需选择适合的SMU进行测试

●被测样品形状复杂,需选择适当的修正参数

厚度修正系数对测试结果的营销F(W/S)

原片直径修正系数对测试结果的营销

温度修正系数对测试结果的影响

●环境对测试结果有影响

利用电流换向测试消除热电势误差

●利用多次平均提高测试精度

需考虑测试成本

吉时利电子薄膜材料测试方案:

1、通用配置

a.吉时利源表2450/2460/2461

b.四探针台(间距1mm)

c.测试软件(安泰测试系统集成可开发)

2、高阻电子薄膜材料测试方案

a.6221/2182A+6514X2+2000DMM

b.第三方探针台

c.手动或软件编程

方案优势:

1、  不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求

2、  高精度源表,即可手动测试,也可以编程自动测试

3、  高性价比

吉时利源表作为电学测量的常用仪器,在高校和研究所的相关实验室内几乎都能看到,源表集多表合一、配上专业软件可以实现各种定制测量,使用非常广泛。

安泰测试作为泰克吉时利长期合作伙伴,专业提供设备选型和测试方案的提供,为西安多家企业和院校提供吉时利源表现场演示,并获得客户的高度认可,如果您想了解吉时利源表更多应用方案,欢迎访问安泰测试网m.agitek.com.cn

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